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Design of AlN-subwavelength grating for deep ultraviolet wavelength reflector operating at 244 nm of wavelength
https://tokushima-u.repo.nii.ac.jp/records/2009576
https://tokushima-u.repo.nii.ac.jp/records/2009576294ad154-03f6-4e77-86a2-634e66f28b9a
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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procspie_11926_1192618.pdf (667 KB)
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| Item type | 文献 / Documents(1) | |||||||||||||||||||||||||||||||||||
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| 公開日 | 2022-01-12 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||
| アクセス権 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| アクセス権 | open access | |||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 資源タイプ | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 資源タイプ | journal article | |||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 出版社版DOI | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 関連識別子 | https://doi.org/10.1117/12.2616175 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 関連名称 | 10.1117/12.2616175 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 出版タイプ | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| タイトル | Design of AlN-subwavelength grating for deep ultraviolet wavelength reflector operating at 244 nm of wavelength | |||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 著者 |
高島, 祐介
× 高島, 祐介
WEKO
945
× ササダ, アツキ
× 永松, 謙太郎
WEKO
963
× 原口, 雅宣
WEKO
126
× 直井, 美貴
WEKO
73
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| 抄録 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 内容記述 | Highly reflective reflector (> 99.9%) operating at deep ultraviolet (DUV) wavelength region around 244 nm was proposed by using subwavelength grating (SWG) patterned AlN substrate. Structural parameters of AlN-SWG were desgined for DUV reflector using the wavenumber dispersion relation of the eiegenmdoes resulting from its periodic refractive index distribution. The electromagnetic field calculated by finite-difference time-domain (FDTD) method revealed the polarization selective reflection characteristics of the designed AlN-SWG, and the SWG can achieve more than 99% reflectivity of p-polarization (the electric field is perpendicular to the grating fingers) at the DUV wavelength of 244 nm. This extremely high reflectivity, polarization selectivity and compactness of our AlN-SWG are very useful for various DUV applications, such as cavity of DUV laser diodes. | |||||||||||||||||||||||||||||||||||
| キーワード | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 主題 | subwavelength grating | |||||||||||||||||||||||||||||||||||
| キーワード | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 主題 | high refractive index | |||||||||||||||||||||||||||||||||||
| キーワード | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 主題 | deep ultraviolet | |||||||||||||||||||||||||||||||||||
| キーワード | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 主題 | highly reflective mirror | |||||||||||||||||||||||||||||||||||
| キーワード | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 主題 | AlN | |||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 書誌情報 |
en : Proceedings of SPIE 巻 11926, p. 1192618, 発行日 2021-10-27 |
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| 収録物ID | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 収録物識別子タイプ | ISSN | |||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 収録物識別子 | 0277786X | |||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 収録物ID | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 収録物識別子 | AA10619755 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 出版者 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 出版者 | SPIE | |||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 備考 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 値 | Yuusuke Takashima, Atsuki Sasada, Kentaro Nagamatsu, Masanobu Haraguchi, and Yoshiki Naoi "Design of AlN-subwavelength grating for deep ultraviolet wavelength reflector operating at 244 nm of wavelength ", Proc. SPIE 11926, Optical Manipulation and Structured Materials Conference 2021, 1192618 (27 October 2021); https://doi.org/10.1117/12.2616175 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 権利情報 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 権利情報 | Copyright 2021 Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers (SPIE). One print or electronic copy may be made for personal use only. Systematic reproduction and distribution, duplication of any material in this paper for a fee or for commercial purposes, or modification of the content of the paper are prohibited. | |||||||||||||||||||||||||||||||||||
| EID | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 識別子 | 382876 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | eng | |||||||||||||||||||||||||||||||||||
