WEKO3
アイテム
Femtosecond laser–assisted thermal annealing of Ni electrode on SiC substrate
https://tokushima-u.repo.nii.ac.jp/records/2004981
https://tokushima-u.repo.nii.ac.jp/records/2004981c4752934-9d94-4f5e-a6e7-71eb29e22269
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
|---|---|---|
aipadv_8_6_065204.pdf (371 KB)
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.png)
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| Item type | 文献 / Documents(1) | |||||||||||
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| 公開日 | 2018-06-19 | |||||||||||
| アクセス権 | ||||||||||||
| アクセス権 | open access | |||||||||||
| 資源タイプ | ||||||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||||||||
| 資源タイプ | journal article | |||||||||||
| 出版社版DOI | ||||||||||||
| 識別子タイプ | DOI | |||||||||||
| 関連識別子 | https://doi.org/10.1063/1.5036804 | |||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||
| 関連名称 | 10.1063/1.5036804 | |||||||||||
| 出版タイプ | ||||||||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||||||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||||||||
| タイトル | ||||||||||||
| タイトル | Femtosecond laser–assisted thermal annealing of Ni electrode on SiC substrate | |||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||
| 著者 |
カワカミ, ヒロキ
× カワカミ, ヒロキ
× 直井, 美貴× 富田, 卓朗 |
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| 抄録 | ||||||||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||||||||
| 内容記述 | Alloying at the metal–semiconductor interface induced by femtosecond laser irradiation associated with thermal annealing was examined to ascertain whether an ohmic contact was formed on silicon carbide (SiC). In general, the electric field of the femtosecond laser beam destroys the crystal structure, but with lower thermal damage around the irradiated areas. In addition to the laser irradiation, we employed thermal annealing to enhance the diffusion of the metal atoms inside the SiC. After these processes, an ohmic contact was successfully formed on the SiC with thermal annealing at a temperature of 900 °C, which is 100 °C lower than with the conventional thermal annealing method. | |||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||
| 書誌情報 |
en : AIP Advances 巻 8, 号 6, p. 065204, 発行日 2018-06-04 |
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| 収録物ID | ||||||||||||
| 収録物識別子タイプ | ISSN | |||||||||||
| 収録物識別子 | 21583226 | |||||||||||
| 出版者 | ||||||||||||
| 出版者 | AIP Publishing | |||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||
| 権利情報 | ||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||
| 権利情報 | © 2018 Author(s). All article content, except where otherwise noted, is licensed under a Creative Commons Attribution (CC BY) license (http://creativecommons.org/licenses/by/4.0/). | |||||||||||
| EID | ||||||||||||
| 識別子 | 339621 | |||||||||||
| 識別子タイプ | URI | |||||||||||
| 言語 | ||||||||||||
| 言語 | eng | |||||||||||
