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Residual stress measurement of {112}-oriented CrN layers in CrN/Cr multilayer films
https://tokushima-u.repo.nii.ac.jp/records/2007015
https://tokushima-u.repo.nii.ac.jp/records/200701500cfb295-6737-4df8-9e0c-57c03410801f
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
|---|---|---|
jvstb_37_6_062919.pdf (1.62 MB)
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| Item type | 文献 / Documents(1) | |||||||||||||||||||||||||||||
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| 公開日 | 2019-12-23 | |||||||||||||||||||||||||||||
| アクセス権 | ||||||||||||||||||||||||||||||
| アクセス権 | open access | |||||||||||||||||||||||||||||
| 資源タイプ | ||||||||||||||||||||||||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||||||||||||||||||||||||||
| 資源タイプ | journal article | |||||||||||||||||||||||||||||
| 出版社版DOI | ||||||||||||||||||||||||||||||
| 関連識別子 | https://doi.org/10.1116/1.5118682 | |||||||||||||||||||||||||||||
| 関連名称 | 10.1116/1.5118682 | |||||||||||||||||||||||||||||
| 出版タイプ | ||||||||||||||||||||||||||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||||||||||||||||||||||||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||||||||||||||||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||||||||||||||||||
| タイトル | Residual stress measurement of {112}-oriented CrN layers in CrN/Cr multilayer films | |||||||||||||||||||||||||||||
| 著者 |
日下, 一也
× 日下, 一也
WEKO
50
× シラサカ, ケンタ
× 米倉, 大介
WEKO
51
× タナカ, ユウタ
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| 抄録 | ||||||||||||||||||||||||||||||
| 内容記述 | In this work, the authors propose and verify a method of measuring the residual stress of {112}-oriented chromium nitride (CrN) layers in CrN/Cr multilayer thin films. The CrN layers of a CrN/Cr multilayer film deposited on a Ti6Al4V substrate by arc ion plating form both a randomly oriented mixed crystal structure and a {112}-oriented structure. Therefore, accurate stress measurement of the CrN layers cannot be performed by applying the sin2ψ x-ray method assuming an isotropic homogeneous material. To overcome this obstacle, the proposed method to measure the residual stress uses four CrN-422 diffractions: at ψ = 0°, 33.56°, 48.19°, and 60.00°. Next, the authors vary the density of Cr droplets on the film surface to evaluate how it affects the residual stress in the CrN/Cr multilayer film. The results indicate that the Cr layer has a residual compressive stress of −350 to −530 MPa and that the two CrN layers have a very large residual compressive stress of −3.5 to −8.2 GPa. In addition, both residual compressive stresses decrease with increasing droplet density. | |||||||||||||||||||||||||||||
| 書誌情報 |
en : Journal of Vacuum Science & Technology B 巻 37, 号 6, p. 062919, 発行日 2019-10-31 |
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| 収録物ID | ||||||||||||||||||||||||||||||
| 収録物識別子タイプ | ISSN | |||||||||||||||||||||||||||||
| 収録物識別子 | 21662746 | |||||||||||||||||||||||||||||
| 収録物ID | ||||||||||||||||||||||||||||||
| 収録物識別子タイプ | ISSN | |||||||||||||||||||||||||||||
| 収録物識別子 | 21662754 | |||||||||||||||||||||||||||||
| 収録物ID | ||||||||||||||||||||||||||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||||||||||||||||||||||||||
| 収録物識別子 | AA10804928 | |||||||||||||||||||||||||||||
| 出版者 | ||||||||||||||||||||||||||||||
| 出版者 | American Vacuum Society | |||||||||||||||||||||||||||||
| 備考 | ||||||||||||||||||||||||||||||
| 値 | This article may be downloaded for personal use only. Any other use requires prior permission of the author and AIP Publishing. This article appeared in Journal of Vacuum Science & Technology B 37, 062919 (2019) and may be found at https://doi.org/10.1116/1.5118682. This paper is part of the Conference Collection: 15th International Symposium on Sputtering and Plasma Processes (ISSP2019). |
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| EID | ||||||||||||||||||||||||||||||
| 識別子 | 360900 | |||||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | ||||||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | eng | |||||||||||||||||||||||||||||
