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  1. 資料タイプ別
  2. 学術雑誌論文

Residual stress measurement of {112}-oriented CrN layers in CrN/Cr multilayer films

https://tokushima-u.repo.nii.ac.jp/records/2007015
https://tokushima-u.repo.nii.ac.jp/records/2007015
00cfb295-6737-4df8-9e0c-57c03410801f
名前 / ファイル ライセンス アクション
jvstb_37_6_062919.pdf jvstb_37_6_062919.pdf (1.62 MB)
Item type 文献 / Documents(1)
公開日 2019-12-23
アクセス権
アクセス権 open access
資源タイプ
資源タイプ識別子 http://purl.org/coar/resource_type/c_6501
資源タイプ journal article
出版社版DOI
関連識別子 https://doi.org/10.1116/1.5118682
関連名称 10.1116/1.5118682
出版タイプ
出版タイプ VoR
出版タイプResource http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85
タイトル
タイトル Residual stress measurement of {112}-oriented CrN layers in CrN/Cr multilayer films
著者 日下, 一也

× 日下, 一也

WEKO 50
徳島大学 教育研究者総覧 10662/profile-ja.html
e-Rad 70274256

ja 日下, 一也
ISNI

ja-Kana クサカ, カズヤ

en Kusaka, Kazuya

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シラサカ, ケンタ

× シラサカ, ケンタ

ja シラサカ, ケンタ

ja-Kana シラサカ, ケンタ

en Shirasaka, Kenta

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米倉, 大介

× 米倉, 大介

WEKO 51
徳島大学 教育研究者総覧 10663/profile-ja.html
e-Rad 70314846

ja 米倉, 大介
ISNI

ja-Kana ヨネクラ, ダイスケ

en Yonekura, Daisuke

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タナカ, ユウタ

× タナカ, ユウタ

ja タナカ, ユウタ

ja-Kana タナカ, ユウタ

en Tanaka, Yuta

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抄録
内容記述 In this work, the authors propose and verify a method of measuring the residual stress of {112}-oriented chromium nitride (CrN) layers in CrN/Cr multilayer thin films. The CrN layers of a CrN/Cr multilayer film deposited on a Ti6Al4V substrate by arc ion plating form both a randomly oriented mixed crystal structure and a {112}-oriented structure. Therefore, accurate stress measurement of the CrN layers cannot be performed by applying the sin2ψ x-ray method assuming an isotropic homogeneous material. To overcome this obstacle, the proposed method to measure the residual stress uses four CrN-422 diffractions: at ψ = 0°, 33.56°, 48.19°, and 60.00°. Next, the authors vary the density of Cr droplets on the film surface to evaluate how it affects the residual stress in the CrN/Cr multilayer film. The results indicate that the Cr layer has a residual compressive stress of −350 to −530 MPa and that the two CrN layers have a very large residual compressive stress of −3.5 to −8.2 GPa. In addition, both residual compressive stresses decrease with increasing droplet density.
書誌情報 en : Journal of Vacuum Science & Technology B

巻 37, 号 6, p. 062919, 発行日 2019-10-31
収録物ID
収録物識別子タイプ ISSN
収録物識別子 21662746
収録物ID
収録物識別子タイプ ISSN
収録物識別子 21662754
収録物ID
収録物識別子タイプ NCID
収録物識別子 AA10804928
出版者
出版者 American Vacuum Society
備考
値 This article may be downloaded for personal use only. Any other use requires prior permission of the author and AIP Publishing. This article appeared in Journal of Vacuum Science & Technology B 37, 062919 (2019) and may be found at https://doi.org/10.1116/1.5118682.
This paper is part of the Conference Collection: 15th International Symposium on Sputtering and Plasma Processes (ISSP2019).
EID
識別子 360900
言語
言語 eng
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Ver.1 2024-10-29 01:17:15.763956
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