WEKO3
アイテム
CT-TDLAS measurements of gas concentration and temperature distributions in a semiconductor chamber
https://tokushima-u.repo.nii.ac.jp/records/2007543
https://tokushima-u.repo.nii.ac.jp/records/200754359bf70df-f1e6-4f5b-94f6-be02a0a8f556
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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k3389_abstract.pdf (70.2 KB)
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k3389_review.pdf (29.6 KB)
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k3389_fulltext.pdf (2.62 MB)
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| Item type | 文献 / Documents(1) | |||||||||||
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| 公開日 | 2020-04-16 | |||||||||||
| アクセス権 | ||||||||||||
| アクセス権 | open access | |||||||||||
| 資源タイプ | ||||||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_db06 | |||||||||||
| 資源タイプ | doctoral thesis | |||||||||||
| 出版タイプ | ||||||||||||
| 出版タイプ | NA | |||||||||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_be7fb7dd8ff6fe43 | |||||||||||
| タイトル | ||||||||||||
| タイトル | CT-TDLAS measurements of gas concentration and temperature distributions in a semiconductor chamber | |||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||
| タイトル別表記 | ||||||||||||
| その他のタイトル | CT-TDLASによる半導体チャンバ内のガス濃度・温度分布測定 | |||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||
| 著者 |
林, 大介
× 林, 大介
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| キーワード | ||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||
| 主題 | CT-TDLAS | |||||||||||
| キーワード | ||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||
| 主題 | semiconductor | |||||||||||
| キーワード | ||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||
| 主題 | chamber | |||||||||||
| キーワード | ||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||
| 主題 | gas | |||||||||||
| キーワード | ||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||
| 主題 | distribution | |||||||||||
| 書誌情報 |
発行日 2020-03-06 |
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| 備考 | ||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||
| 値 | 内容要旨・審査要旨・論文本文の公開 学位授与者所属 : 徳島大学大学院先端技術科学教育部（知的力学システム工学専攻） |
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| 言語 | ||||||||||||
| 言語 | eng | |||||||||||
| 報告番号 | ||||||||||||
| 学位授与番号 | 甲第3389号 | |||||||||||
| 学位記番号 | ||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||
| 値 | 甲先第355号 | |||||||||||
| 学位授与年月日 | ||||||||||||
| 学位授与年月日 | 2020-03-06 | |||||||||||
| 学位名 | ||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||
| 学位名 | 博士（工学） | |||||||||||
| 学位授与機関 | ||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||
| 学位授与機関名 | 徳島大学 | |||||||||||
